真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。設(shè)備分為單工位、雙工位及多工位。

真空燒結(jié)爐的主要特點：

1、關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性；

2、具有可編程的升、降溫功能；

3、具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能；

4、具有高抗干擾能力；

5、具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。